真空のおはなし (おはなし科学・技術シリーズ), p.105
真空排気後はガス放出量を低くするために，真空系全体を高温でベーキング(baking)を繰り返し，材料や部品の表面あるいは固体内に吸着・吸蔵されている水分や吸蔵ガスを強制的に追い出すための加熱脱ガス処理を行います．
真空のおはなし (おはなし科学・技術シリーズ), p.105
真空排気後はガス放出量を低くするために，真空系全体を高温でベーキング(baking)を繰り返し，材料や部品の表面あるいは固体内に吸着・吸蔵されている水分や吸蔵ガスを強制的に追い出すための加熱脱ガス処理を行います．