/リ(ー)ジェナレイシャン/
半導体真空技術 (ポイント解説), p.71
クライオポンプは溜め込み式のポンプと言われます。ゴミ箱のようなもので，溜め込める量には限度があります。クライオポンプ内部に吸着したガスを放出して空にすることを，再生またはリジェネレーション，または略してリジェネと言います。
真空のおはなし (おはなし科学・技術シリーズ), p.82
このような溜め込み式の真空ポンプは，排気した気体分子の量が，ある一定量以上になるとポンプ内の圧力が高くなり，排気速度が低下します．このため排気速度が落ちてきたら，ポンプ内を室温まで戻すか，あるいはヒータで加熱して高温にし，クライオパネルや吸着層を元の状態に戻してやる操作，いわゆる活性化が必要になります．
