VBA、Vertical Beam Angle

2018-506136号 垂直ビーム角度デバイスを有するイオン注入システムにおける垂直ビームプロファイルの測定方法 - astamuse, アクセリステクノロジーズ，インコーポレイテッド

上記言及されたＯｐｔｉｍａ ＸＥシステムは、例えば、一般的に、垂直ビーム角度（vertical beam angle (ＶＢＡ)）が装備される。