source magnet

ソースマグネット | イオン注入装置用語（応用） | イオン注入ディクショナリー | 日新イオン機器株式会社

ソースマグネット

イオン源のアークチャンバ部分に対して、磁場を導入するための磁石をいう。

アークチャンバ内でアーク放電が起こる際、発生した電子を一定の空間に閉じ込めることによって、さらなる電離を促進させるために用いられる。