2020-06-03 cathode、emitter misc. 半導体製造装置用語辞典, p.68 カソード 電子銃の構成要素の一つで,電子を放射する電極。(略~) エミッタ カソードと同義語。通常,電界放射型又は熱電界放射型電子銃の陰極を指す。