https://www.peergroup.com/expertise/resources/semi-standards/gem300/
The SEMI E87 (Carrier Management) standard describes in detail the material transfer scenarios for loading and unloading carriers (cassettes) full of substrates (wafers).
非公式訳:
SEMI E87 (キャリア管理)規格は、サブストレート (ウェーハ)の満載されたキャリア(カセット)をロード、アンロードするための材料移送シナリオについて詳しく記している。