SECS/HSMS/GEM/GEM300ソリューション: EQBrain | 横河電機
- SECS とは
SECS とは半導体製造装置とホストシステム(MES)との通信を規定する業界標準のプロトコルです。SEMI Standard にて規定が行われ、SECS-I(E4)・HSMS(E37)・SECS-II(E5)がその規格の対象となります。 - HSMS とは
HSMS とは SECS-I の RS232C によるシリアル通信を TCP/IP で置き換える通信プロトコルです。高速 SECS メッセージサービス (High Speed Message Service) とよばれ、SEMI Standard にて規定が行われ、HSMS(E37)がその規格の対象となります。 - GEM とは
General Equipment Model の略称で、SECS の上位層となる通信プロトコルです。一般的に200mm(8インチ)ウエハを生産する製造ラインで使用されます。SEMI Standard にて規定が行われ、GEM(E30)がその規格の対象となります。
SECS(SEMI Equipment Communication Standards)およびGEM(Generic Model For Communications and Control Of Manufacturing Equipment)規格は、半導体メーカーの国際組織であるSEMI.orgによって公開および保守されており、半導体製造の規格を管理する組織体です。