chiller、チラー

• チラー（Chiller） : 日立ハイテクフィールディング

  チラーは、冷媒サイクルにより温度調整した液体(熱媒体)を対象装置に循環・熱交換させることで、対象装置温度を一定に保つ装置です。半導体製造装置のほかにさまざまな種類の産業機器、計測機器、食品加工機器、理化学機器等に用いられます。

• 高精度チラー | MPC

  チラーは冷却水循環装置と訳されますが、半導体製造や検査装置では高温環境での製造・検査もあり、温度制御の幅は年々広くなってきています。

• チラー：2021年は22％増の見込み | 特集 | 半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

  　(略)このため温度の維持・制御を行うチラーに求められる性能も高くなり、製品価格も上昇している。
  
  　(略)
  
  　半導体製造装置用チラーには液冷方式と空冷方式、高精度の温度制御が必要とされる用途ではペルチェ素子が使用されている。(略)

• 温調機器

  サーモチラーって何？
  
  サーモチラーはお客様の熱源を温度コントロールする装置です。 サーモチラーは冷凍機などの冷却源とヒータなどの加熱源の出力を制御し、水などの液体を一定の温度にコントロールし、ポンプでお客様装置に循環させるものです。そのためサーキュレータと呼ぶこともあります。