probe

• よくわかる真空技術 (入門ビジュアル・テクノロジー), p.68

  表面分析には、表面の原子・分子に与える刺激(プローブ)と計測する荷電粒子の組み合わせによって、何十種類もの手法があります。

たとえばプローブとして電子をぶつけて電子を検出するのがSEMやAES。X線をぶつけて電子を検出するのがXPS。電子をぶつけてX線を検出するのがEPMA。

• 機器分析技術用語辞典, p.186

  プローブ電流 ぷろーぶでんりゅう probe current
  照射される電子線(プローブ)の総電流量のこと。