electrostatic scan

半導体製造装置用語辞典

静電スキャン
ウェーハにイオン注入を行うためにイオンビームを走査する方法で，荷電粒子が電界から受ける力を用いてイオンビームを偏向する方式。(略～)

半導体真空技術 (ポイント解説), p.207

インプラの打ち込みでは均一性を確保するためにビームを平均してウエハに照射しなくてはなりません。中電流装置では，静電スキャンといってX方向，Y方向の偏光板への電圧を変化させてビームを振らせ，照射します。