roughing pump、荒引きポンプ、粗引き～

半導体真空技術 (ポイント解説), p.52

真空ポンプの中で，大気圧から引くことができて0.133 Pa (1 mTorr)程度までの真空を作れるものを荒引きポンプ(ラフィングポンプ)と言います。