クライオポンプ

よくわかる真空技術 (入門ビジュアル・テクノロジー)
p.86

クライオポンプは、ポンプ内の冷却した面に気体を凝縮させてためこみます。

p.91

気体分子を、冷凍機で冷却させた極低温面(20K以下)に凝縮・吸着させて捕捉して排気します