NOTE: If the MFC was recently purged or newly connected to the system, run the process gas for 5-10 minutes. Alternatively, evacuate the MFC using a vacuum pump. Then run the gas long enough to fill the MFC and gas line.
非公式訳:
MFCを最近パージした場合、あるいは新たにシステムにMFCを接続した場合は、プロセスガスを5～10分間流して(供給して、導入して)ください。あるいは、真空ポンプを使ってMFCを真空引きして(空にして)ください。そのあとで、MFCとガスラインとにガスが充満する程度までガスを流して(供給して、導入して)ください。
