EMO

EMO（緊急遮断）EMS（非常停止）の違いについて / 安全のヒント | オムロン制御機器

EMOとは、半導体製造装置の業界ガイドラインであるSEMI規格で規定されており、Emergency offのことです。
SEMIの日本語版では「緊急遮断」と表記されます。
EMOの機能として、例えはEMO押ボタンを押すと、人や設備に対して新たな危険を生じずに、安全シャットダウン状態に移行すべき、と規定されています。また、誤操作を防ぐ位置、またはガードリングの取り付けを求めています。