backing pressure

背圧

真空のおはなし (おはなし科学・技術シリーズ), p.79

油拡散ポンプは正常に動作しているとき,背圧はいあつ(ポンプの排気口での圧力)側に衝撃波が生じて高い背圧と対抗しています.したがって,ある圧力までは背圧が変化しても高真空側に影響は出ないのですが,背圧がある圧力より高くなると蒸気噴流が乱され,排気作用がなくなってしまいます.このときの背圧を臨界背圧といいます.