マスフローコントローラ

トコトンやさしいバルブの本 (今日からモノ知りシリーズ), セクション47

ガス系配管で流量を精密に制御するバルブシステムで、他力式調節弁による制御システムである「センサ+調節計+調節弁」が1つにパッケージ化されている。ガスの流量を質量で測定して制御するので、このように呼ばれている。