TERPS、Trench Etched Resonant Pressure Sensor

Druckの「Resonant Pressure Sensor」は「共鳴～」「共振～」ではなく「振動式圧力センサー」。「共鳴～」「共振～」の表記も一部にはある。

• 航空宇宙用の圧力センサーが超微細化時代の半導体製造プロセスを支える：優れた安定性や応答性を実現 - EE Times Japan
  

  半導体製造装置向けに供給している高精度シリコン振動式圧力センサーの1つが、TERPS（Trench Etched Resonant Pressure Sensor）技術を用いた「TERPS 8000シリーズ」である。TERPSのコアとなる部分は、単結晶シリコンからなるダイアフラム部、振動素子、そしてキャップ層の3層構造となっている。振動素子は真空キャビティ中にあるため、優れた安定性が実現できる。そしてシリコンダイアフラムは、金属ダイアフラムと封入されたシリコーンオイルによって、圧力媒体から絶縁されている。
  

• 気象分野向けTERPS 8100 高精度圧力センサ
  

  TERPS（Trench Etched Resonant Pressure Sensor）は、類まれな精度と安定度を実現する新しい半導体センシング技術です。TERPSは、シリコン振動式圧力センサを利用しており、単一結晶構造の完全弾性の自然発生を引き出します。

• デジタル圧力センサー | Baker Hughes
  

  ドラックのTERPS（トレンチエッチング共振圧力センサー）は、この種の圧力センサーにはない精度、安定性、堅牢性を兼ね備えています。