misc.

dielectric fitting、絶縁継手

What is a Dielectric Fitting? - Definition from Corrosionpedia A dielectric fitting is a type of industrial material that isolates monitoring instruments against the effects of electrical current. One of its main purposes is to connect two…

運動誤差、movement error

精密位置決め・送り系設計のための制御工学 - 松原厚 - Google ブックス

dose shift

https://www.shi.co.jp/tech/tech_report/pdf/178.pdf バッチタイプを採用することで、枚葉装置の欠点である高ダメージ,レジストアウトガスによるドーズシフトおよび角度コンタミ問題を避け,安定した注入を提供している。 http://www.jmf.or.jp/japanese/h…

captured screw、captive screw

脱落防止~ 落下防止~ 拘束~ キャプティブ~ 脱落防止 ボルト通販・販売 | MISUMI-VONA【ミスミ】 fastenerengineering.com

hall probe

Hallは人名 ホールプローブとは? | 東陽テクニカ | “はかる”技術で未来を創る | 物性/ エネルギー Q. ホールプローブとは?A.磁場を計測する為のツールです。このホールプローブにホールセンサが内蔵されています。

interlock

動詞 /インタら(ー)ク/ 名詞 /インタら(ー)ク/ インターロックとは何ですか?/Q&A/株式会社JEI インターロックとは何ですか? インターロックとは、ある条件が整わないと電気錠が解錠しない機構のことで、安全装置・安全機構の考え方のひとつ。 具体…

SCARA

産業用ロボットの種類と構造 | 産業用ロボット | 製品・ソリューション | 安川電機 水平多関節型(スカラロボット) スカラはSelective Compliance Assembly Robot Armの頭文字をとって「SCARA」と呼ばれています。軸数は4軸が一般的で、アームが水平方向に…

manifold

/マアエニフォウるドゥ/ 英和・和英 機械用語図解辞典, p.353 マニホールド。 内部に配管の役目をする通路を形成し,外部に多数の機器接続口を備えた取付台.多岐管,集合管ともいう.

管と配管と

参考: トコトンやさしい配管の本 (今日からモノ知りシリーズ), p.2 配管(パイピング): 装置として組み上がったもの。 管(パイプとチューブ): 丸い円筒状の物体。 パイプ: 流体輸送を目的とする管。チューブとの区別はあいまい。 チューブ: 熱交換を目的とす…

KF

半導体真空技術 (ポイント解説), p.106 KFフィッティングはKFフランジ,クイックカップリングなどとも呼ばれ,配管中に多用されています。パーツとしては4個から成っていて,クランプ,フランジ,センタリングリングとO-Ringです。(略)

binding

英和・和英 機械用語図解辞典, p.55 バインディング (略)ひっかかったような動きをして,なめらかに動かない現象をいう。

AEF、Angular Energy Filter

角度エネルギーフィルター ??? 米Axcelis,300mm対応の中電流イオン打ち込み装置を発売 | 日経クロステック(xTECH) 米Axcelis Technologies, Inc.は,300mmウエーハ対応の中電流イオン打ち込み装置「MC3」を発売する。この製品は,住友イートンノバとの…

swivel hoist、chain fall

https://www.lifting-equipment.co.uk/shop/product/lifting-points/yoke-lifting-point-unc-thread/ 黄色いのがswivel hoist (ring)、シルバーなのがフック、フックにつながっているチェーンがフォール: 研究社新英和大 fall17 【機械】 巻揚げ機の(滑車に…

high voltage terminal

半導体製造装置用語辞典, p.197 高電圧ターミナル イオンエネルギーを高めるため,接地電位より加速電圧が印加されるターミナル。後段加速方式を採るイオン注入装置においては,ガス導入系,イオン源及び質量分析系が収められている。

acceleration tube, acceleration column

加速管 | イオン注入装置用語(基本) | イオン注入ディクショナリー | 日新イオン機器株式会社 加速管 / acceleration tube, acceleration column 注入を行うイオンにエネルギー(速度)を与えるためには、「加速管」と呼ばれる電界(電場)をかけられたビ…

イオンビームのスキャン

参考: 図解入門 よくわかる半導体プロセスの基本と仕組み[第4版] (How-nual図解入門Visual Guide Book), pp.76-77 ウェーハを動かさずにビームをスキャンする。ラスタースキャンなど。昔のブラウン管テレビと同じ。 または ビームを動かさずにウェーハをスキ…

forward and out to the side

At Home Strength Training Circuit for Golfers ~ Infinity Health Step 1: Place the band around both ankles. Take your feet wide to keep tension on the band and then step one foot forward and out to the side follow with the other foot forwar…

analyzing magnet

半導体製造装置用語辞典, p.203 分析マグネット イオンビーム中に含まれる種々のイオンから,必要とするイオン種のみを取り出すための電磁石。(略~)

pole piece

https://www.mssj.jp/publications/pdf/MS_Terms_2020.pdf pole-piece ポールピース:イオンの軌道を偏向させる電磁石の磁極.

dose

/ドウス/ 半導体製造装置用語辞典, p.200 dose ドーズ ドーズ量 試料に注入する,若しくは,注入された単位面積あたりのイオンの個数。 半導体がわかる英語, p.248 dopant dose 「不純物の量」。(略)注入される不純物原子の量のこと。そのまま「ドーズ」とし…

quad triplet、triple quad

トリプル四重極 三連四重極 四重極三連 トリプル四重極質量分析計の原理と応用 | JAIMA 一般社団法人 日本分析機器工業会 トリプル四重極質量分析計(MS/MS)は2つの四重極質量分析計(Q)で衝突室(q)を挟んで直列に連結(Q-q-Q)したものである。開発当…

modified

英和・和英 機械用語図解辞典 modified jaw: 特殊口金 変形~

amu、atomic mass unit

原子質量単位

hp

high pressure

co-gas

コガス?? 共ガス?? 複合ガス?? https://www.jstage.jst.go.jp/article/jcombsj/57/179/57_21/_pdf/-char/ja バイオマス燃料から気体燃料を生成することを「バイオマスガス化 (biomass gasification)」とよび,その発熱量を補うために石炭などの化石燃…

orifice

/オ(ー)ラふァス/ オリフィスとはなんですか? | 流体制御弁の株式会社ベン 面積を減少した管路です。その長さが断面寸法に比べて比較的短い場合の流路の絞りのことです。

Bottle with Squirt Cap

スクイズボトル、スクイーズボトル 穴の空いた蓋がついていてそこから中の何かをチューっと噴出させる容器。穴の空いた蓋のための蓋がある。 https://www.kateishop.com/product/rubbermaid-water-bottle-with-squirt-cap/SKU-7D02RU-BL ポカリスエット スク…

sub-atmospheric delivery

https://www.entegris.com/content/dam/web/resources/white-papers/white-paper-novel-safe-approach-to-process-gas-delivery-10244.pdfGases are typically available in a compressed (high pressure) format, or in some cases, set to deliver at lowe…

Column Filter、カラムフィルター、分離管フィルター

第7話「試料の濾過と濾過材の正しい取り扱い方法」| ご隠居達のIC四方山話 (よもやまばなし)シーズン2 | メトローム 分離カラムのフィルタの1/10位の孔径の濾過材で濾過しておけば目詰まりはないとされているんで,0.5 (0.45) µmの孔径を持つメンブランフ…

feedthrough、feed through、フィードスルー、導入端子

/ふィードすルー/ 図解入門よくわかる最新真空の基本と仕組み (How‐nual Visual Guide Book), p.116 電流導入端子は容器内部と外部を電気的に接続し、制御または計測するためのものです。