復極、脱分極、消極、減極、分極の解消
- 半導体基板の脱離方法及び静電チャック装置, セイコーエプソン
これにより、吸着ステージ１とウエーハＷとに生じていた 分極は解消され、静電力が弱まる。次に、ＥＳＣ電圧を０Ｖに戻す（ｔ＝９〜１０秒）。
http://www.conceptsengine.com/patent/grant/0003851489, 日本発条
ジョンセン・ラーベック力は、吸着面20の微小な凸凹に生じた帯電分極による静電力であるため、電圧を除くと瞬時に分極が解消される。このため電源30を立ったときに短時間で吸着力が解消し、ウエハー11が吸着面20に貼りついたままになることがない。
http://patentlib.net/mnt/exHDD_4TB/A/2018190001/2018190901/2018190981/2018190987.html, 住友大阪セメント
すなわち、基体が高温になった際に、体積固有抵抗値が低下すると、静電吸着用電極への電圧印加を停止した後であっても、分極が解消しにくい。その為、クーロン力が残存しやすいことが、要因の一つであると考えられる。
