orientation flat、notch

半導体製造装置用語辞典

オリエンテーションフラット
オリフラ
(～略)位置合わせを容易にするためインゴットよびウェーハの外周に設けられたフラットな面。(略～)

ノッチ
(～略)整列を容易にするためインゴットおよびウェーハの外周に設けられた切りかき。