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半導体製造装置用語辞典, p.231
プラテン
交換のために搬送されてきたレチクルを保持し光学系の定められた位置へセットする保持具。プラテン | イオン注入装置用語（応用） | イオン注入ディクショナリー | 日新イオン機器株式会社
枚葉式のイオン注入装置のエンドステーションにおいて、処理するウェーハを保持する部分をさす。
プラテンは、ウェーハを注入するための機械的な動作ができるよう、モーターユニットとセットになっていることもある。
プラテンにおけるウェーハ保持方法としては、機械的にウェーハを挟み込んで保持する方式と、静電チャックを用いて電気的に保持する方法がある。
