glitch

半導体製造装置用語辞典
グリッチ

p.196

イオン注入中に，ソース部での放電などにより発生する短時間のビーム電流の急落で，面内均一性に悪影響を及ぼす現象。

p.337

グリッチ
一般には，信号に含まれる期待しないパルス状のノイズ。(略～)