P-lens
parallelizing lens
平行化レンズ
SHX-Ⅲ / HC 高電流イオン注入装置|製品情報|住友重機械イオンテクノロジー株式会社
高電流装置においてビームをスキャンし、しかも極低エネルギーで高いビーム電流を確保することは従来困難とされていましたが、新開発の大ビーム用静電スキャナ、平行化レンズを始めとする新方式のビームラインによりこれを実現しています。
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The S-UHE has an electro static parallelizing lens (P-lens) to generate a parallel beam from a scanned beam.