EFEM

• 半導体製造装置用語辞典, p.442

  EFEM
  equipment front end module
  FFU (Fan Filter Unit)を備えたフレーム内に大気搬送ウェーハロボットを設置し，前面にロードポートを取り付けたモジュール機器。プロセス装置の前面に設置される。

• https://www.incom.co.jp/products/detail.php?company_id=6931&product_id=31249

  ウェーハ搬送システム EFEM(Equipment Front End Module)

• https://www.khi.co.jp/rd/magazine/pdf/172/n17208.pdf

  NTシリーズは，半導体の基板となるシリコンウエハを密封して運ぶ容器FOUP（Front Opening Unified Pod）と，各半導体製造装置工程間での受け渡しを行うEFEM（Equipment Front End Module）と呼ばれるシリコンウエハ出し入れ機構で使用されるロボットで，クリーン度は国際標準化機構（ISO）の定めた清浄度クラス 1 を実現している．

• https://www.yaskawa.co.jp/newsrelease/product/8823

  EFEM（Equipment Front End Module）
  半導体製造ラインから供給されるウエハキャリアと半導体製造装置の間でウエハを受け渡しする装置