dose cup、ドーズカップ

2013-089409号 イオン注入装置及びイオン注入方法 - astamuse, 住友重機械イオンテクノロジー株式会社

一方、ウエハ１７に近い上流側であってウエハ１７から外れたイオンビームの走査範囲内にはイオン注入中のビーム電流を計測するサイドファラデーカップ４４−２が配置される。これらはドーズ量を知るためのものであり、ドーズカップとも呼ばれる。